|
高纯管阀件的组件主要分为接头，阀门，过滤器三大类。我们学会查阅某一家公司的高纯管阀件样本以后，对其它公司的产品样本也将很容易掌握，因为各家都是按照行业标准来设计生产销售产品的。
以下针对某公司高纯管阀件样本中包含的产品型号，进行最精简地解说，并适当配上实物图片，便于接触行业时间不长的从业人员在五分钟时间内速成基础的行业知识，避免买错，用错产品。
产品型号中的代码都基于英文单词缩写，比如CV代表Check Valve单向阀，TB代表Tube Butt管对焊，具体请参考122页篇幅的高纯管阀件样本英文原本。
316 316 不锈钢（ASTM A276/A479） 全系列
316L 316L 不锈钢（ASTM A479/A182） 全系列
6V 316L VAR 不锈钢（SEMI F20） 全系列（高纯）
6VV 316L VIM-VAR 不锈钢（SEMI F20） 全系列（超高纯）
1. ASTM American Society for Testing and Materials 美国材料与试验协会
ASTM A479：锅炉及其他压力容器用不锈钢棒材与型材
ASTM A269：通用无缝和焊接奥氏体不锈钢管，适用于内径大于等于1/4′(6.35mm)，壁厚大于等于0.02′(0.51mm)
ASTM A182：高温用锻制或轧制合金和不锈钢管法兰、锻制管件、阀门及零件
这三个标准中，316 不锈钢（316SS）的镍（Ni）、铬（Cr）、碳（C）含量范围一致，具体数值如下：
2. SEMI Semiconductor Equipment and Materials International 半导体设备和材料国际协会
SEMI F20 适用于一般用途、高纯和超高纯半导体制造的316L 不锈钢棒料、锻件、挤压成型、板材和管材元件
GP 标准清洁（机械抛光，Ra 15μin/ 0.4 μm） 全系列（通用场景）
HP 高纯清洁（电解抛光，Ra 10μin/ 0.25 μm，ISO 6 洁净室包装） 全系列（高纯应用）
UHP 超高纯清洁（电解抛光，Ra 5μin/ 0.13 μm，ISO 4 洁净室包装） 全系列（超高纯应用）
1. ISO 6对应原CLASS 1,000（已废除）又叫千级洁净室，常见场景：芯片制造，手术室，液晶面板等
ISO 4对应原CLASS 10又叫十级洁净室（已废除）
2. UHP 超高纯工艺不光指清洗过程，其核心还涵盖以下内容：
高性能：产品需具备高寿命、高耐腐蚀、超低泄漏率特性；
选材：材料自带污染风险，常规 A479 标准 316L 易释放有害气体，按需选用比A479更洁净的316L 316L VAR 或 316L VIM – VAR 材质；
加工：提升加工精度、降低表面粗糙度，采用电解抛光工艺；
UHP主要应用于半导体制造系统，适配高纯及超高纯介质场景。
W 焊接密封（代替垫片密封） 计量阀（BSM 系列）
P 垫片镀银（仅垫片，加在垫片订购号后缀） 仅出现在面密封端口即VCR（G 系列垫片）例： 316L – GG – MR4 – P – GP
GFC G 系列内螺纹变径本体 （如FMR4-FMR2）
GJW G 系列NPT外螺纹焊接组件，NPT内螺纹焊接组件，卡套连接焊接组件，可旋转焊接组件
TB2 1/8 英寸对焊端接（TB Butt Weld） 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB4 1/4 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB6 3/8 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB8 1/2 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TS4 1/4 英寸承插焊端接（Socket Weld） G/O 系列 Gland
TS6 3/8 英寸承插焊端接 G/O 系列 Gland
MR2 1/8 英寸MR 端接（Male MR即Male VCR） 面密封接头 Body、Gland
MR4 1/4 英寸MR 端接 面密封接头 Body、Gland
MR8 1/2 英寸MR 端接 面密封接头 Body、Gland
FMR4 1/4 英寸内螺纹 MR ⾦属垫⽚⾯密封接头（Female MR） 面密封接头 Body、阀门端接
FMR8 1/2 英寸内螺纹 MR ⾦属垫⽚⾯密封接头 面密封接头 Body、阀门端接
F4 1/4 英寸双卡套端接（Tube Fitting） G/O 系列 Gland、阀门端接
F6M 6mm 双卡套端接 G/O 系列 Gland、阀门端接
N4 1/4 英寸 NPT 螺纹（Male NPT） G/O 系列 Body、阀门端接
FN4 1/4 英寸内 NPT 螺纹（Female NPT） G/O 系列 Body、阀门端接
ST9 SAE/MS 螺纹（9/16-18） G/O 系列 Body
ALD3/ALD6 原子层沉积隔膜阀（ALD 工艺专用）
此产品型号为-ALD3T2A-FMR4-NC-V-UHP
ALD3T ALD 系列耐热型（4.1mm內通径，耐温 0-200℃）
ALD6T ALD 系列耐热型（5.9mm內通径，耐温 0-200℃） DV1 低压低流量隔膜阀（真空 – 250psig，Cv 0.3）
DV2 低压中流量隔膜阀（真空 – 250psig，Cv 0.65）
DV3 低压高流量隔膜阀（真空 – 250psig，Cv 2.8）
DV4 高压低流量隔膜阀（真空 – 3000psig，Cv 0.26）
DV5 高压中流量隔膜阀（真空 – 3500psig，Cv 0.8）
DV6 中压中流量隔膜阀（真空 – 300psig，Cv 0.65）
DV7 高压弹簧型隔膜阀（真空 – 3500psig，带弹簧复位）
1.原⼦层沉积 (Atomic Layer Deposition) 是⼀种可以将物质以单原⼦膜形成⼀层⼀层的沉积在基底表⾯的⽅法。 ALD 系列原⼦层沉积隔膜阀可应⽤于原⼦层沉积⼯艺， 在半导体芯⽚制造的沉积⼯艺中输送精确剂量的⽓体， 以实现先进技术所需的均匀⽓体沉积。
2.ALD阀门耐热型延长热应用场合的执行器寿命，2000万次以上
MNO 气动常开（端接 M5/10-32 UNF）
MNC 气动常闭（端接 M5/10-32 UNF）
端接类型 同 “接头类规格”（TB4/FMR4/MR8 等）
四、减压阀（PRE1-PRE3、PRT1-PRT3 系列）
PRE1 低流量减压阀（Cv 0.09/0.15，max 进口 3500psig）
PRE2 低流量灵敏减压阀（Cv 0.13，max 进口 3500psig）
PRE3 高流量灵敏减压阀（Cv 1.1，max 进口 600psig）
此产品型号为PRE3A-FMR8-AC
PRT1 低流量联接式膜⽚减压阀（Cv 0.09/0.15，max 进口 4500psig）
PRT2 低流量灵敏联接式膜⽚减压阀（Cv 0.13/0.16，max 进口 3500psig）
PRT3 高流量灵敏联接式膜⽚减压阀（Cv 0.9/1.1，max 进口 1700psig）
端口配置 A 2 通（无压力表端接） 全系列减压阀
以上6种系列减压阀均有A,B,C,E,M,F,H,N,L,K这几种端口配置形式，其中有些形式可以加装卸荷阀
从A到F，出口压力越来越大，每个系列对应不同压力范围，到对应页面查看具体值
BSM 波纹管密封计量阀（千分尺手柄，6 圈全开）
此产品型号为CV3-FMR4
端接类型 同 “接头类规格”（FMR4/MR4/TB4 等）
TW4： 1/4′ 英制管承插焊或 3/8′ 英制管对焊
此产品型号为BSM2A-FMR4
FT4 粉末烧结烧结型过滤器 多精度可选，耐温482℃ 多种端接类型可供选择， VCR、 NPT、 卡套接头等
FT5 陶瓷滤芯过滤器
60~300 SLPM 的额定流量范围 颗粒脱落度极低， 脱⽓率低 优异的⽔分烘⼲特性、 化学相容性
FT6 烧结高纯过滤器（0.0025μm 精度，高颗粒去除率，耐温 460℃）
过滤器（FT5/FT6） 端接类型 MR MR 端接
额定流量 F60 60 SLPM（标准升 / 分钟）
|
