一、空调系统核心设备
1.1 系统定义与分类
空调系统是通过人工手段对室内空气温度、湿度、洁净度和气流速度等参数进行精确控制的综合性系统。半导体工厂采用工业用空调系统，严格优先满足生产工艺参数要求，区别于舒适性空调系统。
工业空调系统中涉及到的处理设备有很多，主要包括MAU、RCU、AHU、FCU、FFU 、DCC等，这些设备各有各的功用，但总的来说，都是通过不同技术手段将空气处理到要求的状态送入车间，以达到控制车间温湿度的目的。
1.2 关键处理设备
MAU（新风机组）
全称Make-up Air Unit，负责输送经处理的新鲜空气。工作流程：从室外抽取新风，经除尘、除湿/加湿、降温/升温处理后送入室内，替换原有空气，确保室内正压和湿度控制。
AHU（混合空气机组）
全称Air Handling Unit，采用回风与新风混合模式。处理流程：混合空气→初效过滤→中效过滤→盘管处理→加湿→送风，全面控制洁净室温度、湿度和洁净度。
FCU（风机盘管）
全称Fan Coil Unit，适用于辅助区域温控，通过循环抽取室内空气，经盘管冷却或加热后重新送入，主要用于人员舒适度调节。
FFU（风机滤器单元）
全称Fan Filter Units，是洁净室核心净化设备。结构集成风机与高效过滤器（HEPA/ULPA），空气经初效、高效两级过滤后，以0.35-0.45m/s的匀速送出，确保洁净度等级。
DCC（干冷盘管）
全称Dry Cooling Coil，采用中高温冷冻水（14℃进/20℃出）对回风进行降温，处理过程无冷凝水产生，有效避免滴水风险，专用于显热负荷控制。
1.3 系统配置案例
本案例采用MAU+FFU+DCC组合系统：
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MAU：控制湿度与室内正压 -
FFU：通过空气循环过滤保证洁净度 -
DCC：除去室内显热，保证温度稳定
二、洁净室技术体系
2.1 洁净室定义
将空气中微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将温度、洁净度、压力、气流速度、噪音、静电等参数控制在特定需求范围内的专门设计房间。
2.2 洁净度等级标准
2.3 运行状态分类
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空态：设施建造完成，具备服务功能但无生产设备及人员 -
静态：设备已安装就绪，可正常运行但无操作人员 -
动态：正常使用状态，设备与人员均在岗，可正常生产
2.4 日常维护要点
尘粒来源控制：
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外气引入（通过MAU过滤解决） -
人员带入（设置风淋室，穿戴洁净服） -
制程设备产生（通过FFU循环稀释排除）
洁净度维持策略：
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维持车间正压防止渗透 -
采用多级过滤体系 -
人员严格净化流程 -
通过换气稀释与替换机制持续净化
三、排气系统
3.1 一般排气
直接排放工艺设备产生的热量、湿气及粉尘，无需处理，通过风管直连大气。
3.2 酸碱排气
来源于化学清洗工作站，含刺激性或有害挥发性气体。必须经过洗涤塔进行水洗中和处理，废水排入污水处理系统，达标后排放。
四、风管施工工序
4.1 标准制作流程
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下料：按规格计算尺寸，精确切割折边成型 -
拼装：咬口宽度7mm，对角线偏差≤3mm，确保方正平整 -
清洗打胶：在洁净环境使用环保清洗剂处理后，在咬口和铆钉处密封打胶 -
厂验检测：出厂前进行FAT（工厂验收测试），验证密封性与强度 -
运输保护：全程密封防护，避免污染和镀锌层损伤 -
进场验收：核查外观、尺寸、铁皮厚度、加固措施及打胶质量
4.2 现场安装工序
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卸货：双人搬运，禁止地面拖拽 -
组对：按编号排列，确认无误后法兰连接 -
安装：干管找平找正，支架间距≤4米，水平偏差≤3mm/m，垂直偏差≤2mm/m，每20米设固定支架 -
漏光/漏风量测试：采用安全光源检测接缝，单位面积漏风量需达标 -
FFU安装：洁净区密闭，人员统一洁净服，防止污染 -
保温施工：橡塑材料下料精准，胶水涂覆均匀，无空鼓裸露
4.3 施工质量管理
五大关键要素：
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支架制作：洁净区内全部采用热镀锌型钢，规格合格 -
管道平直：风管避免不必要的拐弯；水管转弯优先采用45°弯头 -
保温质量：防止冷凝水滴漏，确保垫木配套、孔隙严密 -
围护结构密闭性：防止洁净室向外漏气及外部灰尘侵入 -
成品保护：隐蔽工程在后续专业施工后需复查修复
4.4 系统调试常见问题
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