科普大赛 | 萤石密码
3个月前引言 本文用科幻小故事生动形象地阐述了关于萤石以及氟化学的一些知识点，主要包括：（1）氢氟酸蚀刻硅晶圆，制造芯片；（2）氟与二甲基肼反应（C2H8N2+8F₂2CF4+8HF+N2），产生巨大能量；（ …
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[新启航]白光干涉仪在晶圆蚀刻图形 3D 轮廓测量中的应用解析
3个月前引言 晶圆蚀刻图形是半导体制造中通过干法或湿法蚀刻形成的微米至纳米级三维结构（如沟槽、通孔、鳍片等），其深度、线宽、侧壁倾角等参数直接影响器件的电学性能与可靠性。传统测量方法中，扫描电镜虽能提供高分辨 …