[新启航]白光干涉仪在晶圆湿法刻蚀工艺后的 3D 轮廓测量

[新启航]白光干涉仪在晶圆湿法刻蚀工艺后的 3D 轮廓测量

26天前

引言 晶圆湿法刻蚀工艺通过化学溶液对材料进行各向同性或选择性腐蚀,广泛应用于硅衬底减薄、氧化层开窗、浅沟槽隔离等工艺,其刻蚀深度均匀性、表面平整度、侧向腐蚀量等参数直接影响器件性能。例如,MEMS 传 …

湿气是“致病万金油”,4种“通用”祛湿法,早知道早受益

湿气是“致病万金油”,4种“通用”祛湿法,早知道早受益

4个月前

我们常说“湿气在,百病害”,可想而知,湿气是“致病万金油”,它常常跟其他不同种类的邪气组合而来、狼狈为奸,比如: 湿+热=湿热 湿+寒=湿寒 湿+风=风湿 湿+暑=暑湿 针对不同种类的组合,中医往往有 …