前驱体是指在半导体制造工艺中,用于形成薄膜或进行掺杂等操作的一类特殊化学物质。这些化学物质具有高度的纯度和特定的化学结构,能够在特定的工艺条件下,通过化学反应在半导体表面形成所需的薄膜或实现特定的电学 …