电子特气系统工程中“二次配管”：从主管路到终端设备的精准连接技术
2小时前在半导体、集成电路及科研院所等高新技术领域，电子特气（如NF₃、SiH₄、WF₆等）作为工艺制程的核心原材料，其供应系统的安全性与稳定性直接影响产品质量甚至产线运行。 电子特气系统工程通常分为“一次配 …
在半导体、集成电路及科研院所等高新技术领域，电子特气（如NF₃、SiH₄、WF₆等）作为工艺制程的核心原材料，其供应系统的安全性与稳定性直接影响产品质量甚至产线运行。 电子特气系统工程通常分为“一次配 …