在当代半导体技术无线推进下，二维材料相关研究无论在基础科学或实际工艺方面都正进入高层次的竞争阶段。特别是矩阵于形成高性能精密化器件的工艺软件，对完美表面质量的單晶衿底的依赖突显加强。这些衿底不仅是包括 …
