原来半导体制造中的光刻胶是这样涂上去的呀

原来半导体制造中的光刻胶是这样涂上去的呀

5个月前

Hello,大家好,我们今天来聊聊光刻工艺中的 涂胶工艺。 在晶圆上面涂上一层光刻胶(光阻).  共分成7 大部步骤  第1步:清洗(CLEAN),涂胶前用于去除晶圆表面的杂质和粉尘颗粒。 第2步:脱 …