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晶圆
原来半导体制造中的光刻胶是这样涂上去的呀
5个月前
Hello,大家好,我们今天来聊聊光刻工艺中的 涂胶工艺。 在晶圆上面涂上一层光刻胶(光阻). 共分成7 大部步骤 第1步:清洗(CLEAN),涂胶前用于去除晶圆表面的杂质和粉尘颗粒。 第2步:脱 …
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