3、常见蒸发源模型 上文提到影响薄膜生长过程的因素很多，一般认为生成薄膜的厚度及其在基片表面上分布的均匀性与蒸发源的蒸发特性、蒸发量、基片和蒸发源组成系统的几何形状及其相对位置等一系列因素有关。为了从 …
