高纯管阀件的组件主要分为接头,阀门,过滤器三大类。我们学会查阅某一家公司的高纯管阀件样本以后,对其它公司的产品样本也将很容易掌握,因为各家都是按照行业标准来设计生产销售产品的。
以下针对某公司高纯管阀件样本中包含的产品型号,进行最精简地解说,并适当配上实物图片,便于接触行业时间不长的从业人员在五分钟时间内速成基础的行业知识,避免买错,用错产品。
产品型号中的代码都基于英文单词缩写,比如CV代表Check Valve单向阀,TB代表Tube Butt管对焊,具体请参考122页篇幅的高纯管阀件样本英文原本。

一、通用(接头,阀门,过滤器全产品类型适用)
1. 材料代码(前缀,必选)
316 316 不锈钢(ASTM A276/A479) 全系列
316L 316L 不锈钢(ASTM A479/A182) 全系列
6V 316L VAR 不锈钢(SEMI F20) 全系列(高纯)
6VV 316L VIM-VAR 不锈钢(SEMI F20) 全系列(超高纯)
注明:
1. ASTM American Society for Testing and Materials 美国材料与试验协会
ASTM A479:锅炉及其他压力容器用不锈钢棒材与型材
ASTM A269:通用无缝和焊接奥氏体不锈钢,适用于内径大于等于1/4′(6.35mm),壁厚大于等于0.02′(0.51mm)
ASTM A182:高温用锻制或轧制合金和不锈钢管法兰、锻制管件、阀门及零件
这三个标准中,316 不锈钢(316SS)的镍(Ni)、铬(Cr)、碳(C)含量范围一致,具体数值如下:
元素 含量范围(质量分数)
碳(C) 最大 0.08%
铬(Cr) 16.0%-18.0%
镍(Ni) 10.0%-14.0%
2. SEMI Semiconductor Equipment and Materials International 半导体设备和材料国际协会
SEMI F20 适用于一般用途、高纯和超高纯半导体制造的316L 不锈钢棒料、锻件、挤压成型、板材和管材元件

2. 工艺规范代码(后缀,必选)
代码 语义(清洁 / 纯度等级) 适用产品
GP 标准清洁(机械抛光,Ra 15μin/ 0.4 μm) 全系列(通用场景)
HP 高纯清洁(电解抛光,Ra 10μin/ 0.25 μm,ISO 6 洁净室包装) 全系列(高纯应用)
UHP 超高纯清洁(电解抛光,Ra 5μin/ 0.13 μm,ISO 4 洁净室包装) 全系列(超高纯应用)
注明:
1. ISO 6对应原CLASS 1,000(已废除)又叫千级洁净室,常见场景:芯片制造,手术室,液晶面板等
ISO 4对应原CLASS 10又叫十级洁净室(已废除)
2. UHP 超高纯工艺不光指清洗过程,其核心还涵盖以下内容:
高性能:产品需具备高寿命、高耐腐蚀、超低泄漏率特性;
选材:材料自带污染风险,常规 A479 标准 316L 易释放有害气体,按需选用比A479更洁净的316L 316L VAR 或 316L VIM – VAR 材质;
结构:保障介质流畅流通,减少死区与残留;
焊接:需在洁净室内实施轨道焊;
加工:提升加工精度、降低表面粗糙度,采用电解抛光工艺;
包装:洁净室内双层袋包装,内层抽真空防污染。
UHP主要应用于半导体制造系统,适配高纯及超高纯介质场景。
3. GP一般不用特别标注。

3. 附加选项(可选)
代码   语义   适用产品
P 面板安装 减压阀(PRE/PRT 系列)
V 电磁阀组件 隔膜阀(ALD 系列)
S      位置传感器       隔膜阀(ALD 系列)
W 焊接密封(代替垫片密封)           计量阀(BSM 系列)
P 垫片镀银(仅垫片,加在垫片订购号后缀) 仅出现在面密封端口即VCR(G 系列垫片)例: 316L – GG – MR4 – P – GP


二、接头类(焊接接头 + 面密封接头)
1. 产品系列代码(必选)
焊接接头(I 系列微型焊接接头)
                IU I 系列直通接头
      IE     I 系列 90° 弯头
IV I 系列 45° 弯头
ID I 系列 Tribow ⽴体三通
IT I 系列三通
IC I 系列四通
此图产品型号为316L-IU-TB8-TB6
(以下产品图片说明省略材质部分的型号)
此图产品型号为IE-TB8
此图产品型号为ID-TB8

此图产品型号为IT-TB8-TB8-TB4

焊接接头(B 系列)
        BU B 系列直通接头
BE B 系列 90° 弯头
BT B 系列三通
BC B 系列四通
BWR B 系列焊接环
此图为BU
此图为BE
此图为BT

面密封接头(G 系列)
        GG G 系列垫片(平垫⽚、垫⽚⽀承组件)

GGB G 系列盲垫片
GN G 系列内螺纹螺⺟

GMN G 系列外螺纹螺⺟

GP G 系列堵头

GCP G 系列管帽
GJ G 系列长对焊接管

GJS G 系列短对焊接管

GU G 系列本体(还细分为多种)
GJB G 系列盲接管
        GUB G 系列穿板本体(还细分为多种)
GFC G 系列内螺纹变径本体 (如FMR4-FMR2)
GA G 系列内外螺纹转换本体
GE G 系列弯头本体
GT G 系列三通本体
GC G 系列四通本体
GJW G 系列NPT外螺纹焊接组件,NPT内螺纹焊接组件,卡套连接焊接组件,可旋转焊接组件

面密封接头(O 系列)因为需求很少,这里省略

2. 规格
代码 语义 适用接头
TB2 1/8 英寸对焊端接(TB Butt Weld) 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB4 1/4 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB6 3/8 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB8 1/2 英寸对焊端接 焊接接头、G/O 系列 Gland
TB6M 6mm 对焊端接 焊接接头(公制)
TB8M 8mm 对焊端接 焊接接头(公制)
TS4 1/4 英寸承插焊端接(Socket Weld) G/O 系列 Gland
TS6 3/8 英寸承插焊端接 G/O 系列 Gland
MR2 1/8 英寸MR 端接(Male MR即Male VCR) 面密封接头 Body、Gland
MR4 1/4 英寸MR 端接 面密封接头 Body、Gland
MR8 1/2 英寸MR 端接 面密封接头 Body、Gland
FMR4 1/4 英寸内螺纹 MR ⾦属垫⽚⾯密封接头(Female MR) 面密封接头 Body、阀门端接
FMR8 1/2 英寸内螺纹 MR ⾦属垫⽚⾯密封接头 面密封接头 Body、阀门端接
F4 1/4 英寸双卡套端接(Tube Fitting) G/O 系列 Gland、阀门端接
F6M 6mm 双卡套端接 G/O 系列 Gland、阀门端接
N4 1/4 英寸 NPT 螺纹(Male NPT) G/O 系列 Body、阀门端接
FN4 1/4 英寸内 NPT 螺纹(Female NPT) G/O 系列 Body、阀门端接
ST9 SAE/MS 螺纹(9/16-18) G/O 系列 Body

(配实物图)5分钟迅速读懂高纯管阀件产品的产品型号

三、隔膜阀(ALD、DV1-DV7 系列)
1. 产品系列代码(必选)
代码         语义
ALD3/ALD6  原子层沉积隔膜阀(ALD 工艺专用)
此产品型号为-ALD3T2A-FMR4-NC-V-UHP
ALD3T ALD 系列耐热型(4.1mm內通径,耐温 0-200℃)
ALD6T ALD 系列耐热型(5.9mm內通径,耐温 0-200℃) DV1 低压低流量隔膜阀(真空 – 250psig,Cv 0.3)
此产品型号为-DV12A-FMR4-NC-HP
DV2 低压中流量隔膜阀(真空 – 250psig,Cv 0.65)
DV3 低压高流量隔膜阀(真空 – 250psig,Cv 2.8)
DV4 高压低流量隔膜阀(真空 – 3000psig,Cv 0.26)
DV5 高压中流量隔膜阀(真空 – 3500psig,Cv 0.8)
DV6 中压中流量隔膜阀(真空 – 300psig,Cv 0.65)
DV7 高压弹簧型隔膜阀(真空 – 3500psig,带弹簧复位)
注明:
1.原⼦层沉积 (Atomic Layer Deposition) 是⼀种可以将物质以单原⼦膜形成⼀层⼀层的沉积在基底表⾯的⽅法。 ALD 系列原⼦层沉积隔膜阀可应⽤于原⼦层沉积⼯艺, 在半导体芯⽚制造的沉积⼯艺中输送精确剂量的⽓体, 以实现先进技术所需的均匀⽓体沉积。
2.ALD阀门耐热型延长热应用场合的执行器寿命,2000万次以上

2. 规格(必选)
流道类型 2A~D 2 通流道
3A~G 3 通流道 (2汇1, 1分2)
4A~D 4 通流道 (3汇1,1分3,2分2)
执行器类型
                NO 气动常开(端接 1/8 NPT)
NC 气动常闭(端接 1/8 NPT)
MNO 气动常开(端接 M5/10-32 UNF)
MNC 气动常闭(端接 M5/10-32 UNF)
R 圆形手柄(手动)
L 条形手柄(手动)
阀座材质 PCTFE 聚三氟氯乙烯
PA(PFA)
PI(Vespel)
端接类型 同 “接头类规格”(TB4/FMR4/MR8 等)


四、减压阀(PRE1-PRE3、PRT1-PRT3 系列)
1. 系列代码(必选)
代码              语义
PRE1 低流量减压阀(Cv 0.09/0.15,max 进口 3500psig)
PRE2 低流量灵敏减压阀(Cv 0.13,max 进口 3500psig)
PRE3 高流量灵敏减压阀(Cv 1.1,max 进口 600psig)

此产品型号为PRE3A-FMR8-AC

PRT1 低流量联接式膜⽚减压阀(Cv 0.09/0.15,max 进口 4500psig)
PRT2 低流量灵敏联接式膜⽚减压阀(Cv 0.13/0.16,max 进口 3500psig)
PRT3 高流量灵敏联接式膜⽚减压阀(Cv 0.9/1.1,max 进口 1700psig)
2. 规格(必选)
子类 代码 语义 适用系列
端口配置 A 2 通(无压力表端接) 全系列减压阀
B 3 通(带出口压力表端接) 全系列减压阀
                以下省略
以上6种系列减压阀均有A,B,C,E,M,F,H,N,L,K这几种端口配置形式,其中有些形式可以加装卸荷阀
进出口尺寸
SMR4: 活接1/4’外螺纹⾦属⾯密封
SMR8: 活接1/2’外螺纹⾦属⾯密封
SMR12: 活接3/4’外螺纹⾦属⾯密封
FMR4: 活接1/4’内螺纹⾦属⾯密封
FMR8: 活接1/2’内螺纹⾦属⾯密封
FMR12: 活接3/4’内螺纹⾦属⾯密封
进口压力 A 小压力
B 大压力
每个系列对应不同压力范围,到对应页面查看具体值
出口压力 A
B
C
D
E
F
从A到F,出口压力越来越大,每个系列对应不同压力范围,到对应页面查看具体值
压力表配置
                OG 仅出口压力表(psi/bar)
IO 进出口双压力表(psi/bar)
OGM 出口压力表(psi/MPa)
PG 压力表端接堵头


五、单向阀 / 计量阀(CV3、BSM 系列)
1. 系列代码(必选)
代码 语义(阀门类型)
CV3 全焊接单向阀(开启压差<2psig)
BSM 波纹管密封计量阀(千分尺手柄,6 圈全开)

2. 规格(必选)
单向阀(CV3)

此产品型号为CV3-FMR4

此产品型号为CV3-MR4

端接类型 同 “接头类规格”(FMR4/MR4/TB4 等)
单向阀密封材质
N: 丁晴橡胶(NBR)
E: 三元⼄丙橡胶(EPDM)
(空) FKM 氟橡胶

计量阀(BSM)
流道类型 2A 直通流道
阀杆类型 G 计量型阀杆头(Cv 0.019)
RG 调节型阀杆头(Cv 0.30)
端接类型
FMR4: 1/4" ⾦属⾯密封内螺纹
MR4: 1/4′ ⾦属⾯密封整体外螺纹
FMR8: 1/2′ ⾦属⾯密封内螺纹
F4: 1/4′ 英制卡套端⼝
F6M: 6 mm 公制卡套端⼝
TW4: 1/4′ 英制管承插焊或 3/8′ 英制管对焊
密封类型 W 焊接密封
(空) 垫片密封(默认)

此产品型号为BSM2A-FMR4

六、过滤器(FT4-FT6 系列)
此图产品型号为FT6-MR4-F15
1. 系列代码(必选)
代码 语义(过滤器类型)
FT4 粉末烧结烧结型过滤器 多精度可选,耐温482℃ 多种端接类型可供选择, VCR、 NPT、 卡套接头等
FT5 陶瓷滤芯过滤器
60~300 SLPM 的额定流量范围 颗粒脱落度极低, 脱⽓率低  优异的⽔分烘⼲特性、 化学相容性
FT6 烧结高纯过滤器(0.0025μm 精度,高颗粒去除率,耐温 460℃)

2. 规格(必选)
过滤器(FT4) 端接类型 F 双卡套端接
N NPT 外螺纹端接
MR MR 端接
端接尺寸 2 1/8 英寸
4 1/4 英寸
8 1/2 英寸
过滤精度 5 0.5μm
2 2μm
15 15μm
40 40μm
60 60μm
80 80μm
过滤器(FT5/FT6) 端接类型 MR MR 端接
端接尺寸 4 1/4 英寸
8 1/2 英寸
额定流量 F60 60 SLPM(标准升 / 分钟)
F120 120 SLPM
F200 200 SLPM(仅 FT5)
F300 300 SLPM
F15 15 SLPM(仅 FT6)
整理:[email protected]