真空系统重通过 Q = P × S 公式解释各种问题，气载 (Q)、压力 (P) 和抽速(S) 之间的关系决定了真空系统的表现。
一 如何获得更低的压力 (P)?
在真空系统中实现更低的压力可能是一大难题。在理解压力 (P) 取决于系统气载 (Q) 和抽速 (S) 之间的平衡后，实现更低的压力 (P) 会变得更简单一些。
这些基本概念，压力 (P)、抽速 (S)和气载 (Q)的详细介绍如下。
另一个重要概念是流导 (C)。流导 (C) 表示在特定压力下，孔口或管路通过气体的能力。其描述了真空管路和接头对抽速(S) 的影响，以及对极限真空压力(P) 的影响。
二 了解压力 (P)
压力 (P) 表示气体分子撞击表面时产生的力量大小。
要降低压力 (P)：
1) 提高抽速 (S)和/或
2) 降低气载 (Q)
三 了解抽速 (S)
抽速 (S) 是指泵从真空室中抽出气体的速率。
要降低压力 (P)：
1) 提高抽速 (S)和/或
2) 增加管路内径/减小管路长度
四 了解气载 (Q)
气载 (Q) 是真空系统中所有气体来源的总和。来源包括：
·真空室内的初始气体·工艺气体·放气·扩散·真实泄漏·虚漏·返流·渗透
六、流导 (C) 如何影响压力 (P)？
流导 (C) 表示在特定压力下孔口或管路通过气体的能力。 为真空系统选择具有出色流导 (C) 的硬件（即不会限制泵和真空室之间气体流动的硬件），以尽可能提高泵的抽速 (S)，这一点非常重要。
-
使泵抽气口法兰的直径与管路直径匹配 -
尽量缩短所用管路的长度 -
使用直型管路，尽量避免使用带有许多弯折的管路 -
流导 (C) 对抽速 (S) 的影响： -
流导 (C) 通常会降低真空泵的抽速 (S) -
具有很低流导 (C) 的组件将决定系统可达到的最大抽速 (S)
流导 (C) 会限制抽速 (S)，进而影响极限真空压力。为尽量降低系统压力，需要尽可能减少由于低流导 (C) 导致的抽速 (S) 下降。
为了获得更低的压力 (P)：
-
确认泵与真空室之间的硬件未限制流导：管路的流导 (C) 务必大于* 泵的抽速 (S) -
如果泵与真空室之间的硬件未限制流导 (C)*，选择更大的泵。提高抽速 (S) 可以在更短时间内达到更低的压力 (P)。
注：系统流导 (C) 较差时，使用更大型的泵无法提高性能（极限真空压力或抽真空时间）。
需要通过计算来确定流导 (C) 是否限制了抽速 (S)。例如，假如抽速 (S) 等于流导 (C)，则有效抽速 (Seff) 会降低 50%。
考虑到流导，基本公式变为：Q = P x Seff
流导 (C) —（气载 (Q) 固定）
-
随着流导 (C) 变大，有效抽速 (Seff) 增加，压力 (P) 降低 -
随着流导 (C) 变小，有效抽速 (Seff) 减小，压力 (P) 升高
七、如何提高抽速 (S)
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